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瓷飞厂是下定了决心,肖总远赴京城,但高振东这边的事情,还远远没完。
此时的他,正在拿着防工委发过来的另一位五爷——轰炸机的资料,细细的计算着、考虑着。
他想撬动的可不只是攻-5装雷达这个事情。
就在他算得入神的时候,门被敲响了。
高振东起身开门,门口是易中海和五道口分来的师妹马娟,马娟性格虽然比较直,有些男子的英气,但是心却是很细的,正合适代表分厂的电子实验室跟进一下光刻机的组装事宜。
“高师兄,好消息好消息!”马娟不像伍升远那么一板一眼,在单位也叫高师兄,高振东听得还挺爽。
“光刻机组装好了?”她和易中海一起过来,除了这个不可能有别的。
“嗯嗯嗯,装好了,我们先试了试,各指标完全达标。”
“太好了,走,看看去。”高振东把手上的东西一收,站起身就往光刻机试制车间走。
易中海和马娟跟在后面,马娟笑道:“我们来的意思,就是想请你去主持一下最终的套刻精度试验。”
高振东连连点头:“嗯,要试,要试。走!走!”
其他的指标,可以说易中海带着大师傅们,在马娟的配合下基本上都完成了,这个套刻精度,算是最终的综合检验。
走进光刻机试制车间,透过玻璃看向超净室,展现在高振东面前的是一个像是化学试验室里通风试验橱的东西,或者说是像搞生物的带生物防护的显微装置,别的都看不出干啥的,就是那台显微镜贼显眼。
这台显微镜是用来人工对准和检查用的,主要解决套刻时的对准问题。高振东在掩模上设计了对准标志,但是对准这个操作,在这台光刻机上是人工操作,那台显微镜就是用来干这些事情的。
按说这机器高振东来来去去,改来改去也见过不少次了,可以算是老伙计了,但是这次看见,还是心里泛起了一阵激动。
可算是有结果了,这东西在高振东心里已经不是一台设备,而是一股气。
高振东前世,在网上对线多年,对手能喷的东西,从逮着啥就能喷啥,慢慢演变为能喷啥才说啥。
最后干脆成钉子户了,就在那少数几个领域蹲着不走了,任你东南西北风,我自巍然不动,嘴里只是说着“对呀对呀!……光刻机有几种光源,你知道么?”高振东看得愈不耐烦,拿着键盘走远。
走远归走远,这几样东西的确是到他穿越为止,还没完全拿下的,至少是高端的没拿下,光刻机就是其中一种。
他妈的,这辈子老子自己造一个玩玩,有几种光源我不知道,但是我知道这台能用,而且还挺好!
高振东自己也换上防护服,和几名试验人员走进了超净室。
试验人员早就把试验准备做好了,走进来之后,打开了几个开关,然后示意高振东:“高总,可以了。”
高振东拿起专用夹具,从带干燥剂的硅片架里,小心的夹起了一片单晶硅片,放到了工件台上,然后扳动开关,硅片被吸附固定。
这些单晶硅片已经经过清洗、干燥等处理,对光刻胶的附着力此时是最大的。
然后高振东退后一步,将接下来的试验交给了马娟。
要的就是一开始的那个爽感,至于具体操作,这些试验人员比他手脚麻利多了,专业的事情还是交给专业的人去做。
要说高振东这个光刻机原始,那是真的原始,固定好硅片后,马娟开动开关,硅片开始旋转。
这是高振东的设计,一步到位,光刻胶的涂布,他直接上了旋涂法,前世我们最早的光刻机是用什么方法涂布他不知道,但他知道综合性能肯定是旋涂法最好。
旋涂法在单晶硅片这种平坦的简单表面涂布,平坦化能力强,容易控制厚度,涂层密度大,厚度均匀,不是没有缺陷,但是可以接受和处理。
旋转很快达到了预设的转速,在涂料确定的情况下,涂层厚度这些涂布结果参数与转速高度相关,旋转的同时,工件台也在对硅片进行加热,这是为了进一步去除表面重新附着的水汽。
这些小细节,都是高振东从前世带过来的,不起眼,但是很重要。
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